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         Universal-150抛光机是华海清科研发生产的全自动化CMP设备,主要适用于2″~6″多种规格、材质的化学机械抛光。该机型可对抛光压力、抛光头和抛光盘转速、抛光液流量进行主动控制,具有摩擦力测量、温度监测、配备工艺程序预制、抛光工艺参数数据采集和存储等功能。同时可根据客户要求和规格材质进行设计定制。