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        Universal-200是一套独立控制的8英寸CMP抛光单元系统, 可兼容4-8”多种衬底材料的化学机械抛光。该单体机沿用了华海清科抛光设备的成熟技术和功能,适用于MEMS制造、科研院所、实验研发机构。