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         Universal-300是拥有完全自主知识产权的国产首台12英寸CMP设备,适用于集成电路制造、晶圆基片生产、CMP研磨材料研发和相关的科学研究,可以满足65~130nm Oxide/STI/Poly/Cu/W CMP等各种工艺需求。