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      Universal-200 Smart是根据市场需求,采用Universal-300 Plus的成熟经验设计,拥有完全自主知识产权的新型8英寸CMP设备,集成多种终点检测技术,4个抛光单元和单套清洗单元,具备技术水平高、产量高、性能稳定、多工艺灵活组合等优点,可以满足Oxide /STI/Poly/Cu/W CMP等各种工艺需求。