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        TM-02型膜厚测量仪,采用了台式设计,可以替代四探针在IC制作中的应用。该测量仪通过非接触式的方式进行厚度测量,采用高精度晶圆台及晶圆自动吸附寻零机构,可适用于多种尺寸材料的测量,具有测量速度快、重复性好、对样品无损伤,操作便捷等特点。