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      11月10日,以“新材料,新技术,新装备,推进产业升级”为主题的2019年中国机械工程学会年会在广州盛大举办。年会对中国机械工业科技成果获奖项目进行了表彰,清华大学、天津华海清科机电科技有限公司、中芯国际集成电路制造(北京)有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海集成电路研发中心有限公司、上海华力微电子有限公司、上海华力集成电路制造有限公司共同承担的“芯片制造抛光装备与成套工艺”项目获得2019年度中国机械工业科学技术奖技术发明特等奖。

 


      “中国机械工业科学技术奖”是经国家科学技术部批准,由中国机械工业联合会和中国机械工程学会共同设立的面向全国机械行业的综合性奖项。历经十余年艰苦攻关,在国家科技重大专项02专项、国家自然科学基金重大研究计划、973计划的支持下,清华大学、华海清科等单位在科技攻关中逐渐形成了基础理论研究-关键技术突破-整机装备研制-成套工艺开发的贯穿式研究成果,在国内率先开发出12英寸“干进干出”CMP装备与成套工艺,首次实现了该领域国产装备的规模化应用。