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      近日,天津市科学技术奖励大会暨全市科技工作会议传来喜讯,华海清科、清华大学“极大规模集成电路化学机械抛光装备及应用”项目喜获2019年度天津市科学技术奖(技术发明)一等奖。

 

      紧紧围绕国家重大战略需求,在国家科技重大专项、国家自然科学基金、天津市科技支撑计划等支持下,华海清科、清华大学历经20年艰苦攻关,以“工匠精神”为引领,不断创新与探索,形成了大尺寸表面纳米级全局平坦化的理论和方法,攻克了CMP关键核心技术,解决了整机集成与控制难题,研制出国内首台12英寸CMP商业装备。截至目前,多台CMP设备进入国内先进集成电路大生产线,实现了国产抛光装备的规模化制造与产业化应用,为我国集成电路产业的自主可控发展作出重要贡献。
      荣誉往往是新的起点,华海清科将不忘初心、牢记使命,深入贯彻落实习近平总书记关于科技创新的重要论述,增强科技创新“硬核”实力,在科技攻关中争取更大成绩,努力为全市实现“双战双赢”、全面建成高质量小康社会贡献科技力量。