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        2017年11月16日至21日,以“聚焦创新驱动 提升供给质量”为主题的第十九届中国国际高新技术成果交易会(简称“高交会”)在深圳举行。清华大学亮相高交会,其中清华控股展示了多年来致力于科技成果转化、坚持科技创新和科技服务的丰硕成果,华海清科抛光机项目亮相高交会。


        全国政协副主席、科技部部长、中国科协主席万钢,中国工程院院长周济莅临清华大学、清华控股展区参观指导。清华大学副校长尤政,清华大学副秘书长、深圳清华大学研究院院长嵇世山,清华控股副总裁赵燕来陪同视察,介绍了清华控股科技成果产业化进展,以及华海清科化学机械抛光机、华清燃气轮机两个项目。

        在国庆期间坚守岗位是对祖国最长情的告白。2017年10月8日,华海清科首台国产CMP(化学机械抛光)工艺设备Universal-300 Plus在客户端量产突破10000片,以一丝不苟的工匠精神向祖国献礼。
 
       自2017年2月24日首台国产CMP工艺设备正式进入中芯国际北京厂开始,华海清科与中芯国际团队密切配合,迅速完成设备安装、调试、硬件马拉松测试、设备最优工艺参数测试、工艺马拉松测试、多种工艺制程(IMD/ILD/STI)验证等一系列工作,并进入正式产品量产。在短短78天内,华海清科实现了首台国产CMP工艺设备产品过百片的阶段性目标;6月20日,华海清科凭借首台国产CMP工艺设备的突出表现,被中芯国际授予“突出成就奖”;8月21日,首台国产CMP工艺设备在客户端量产突破1000片。客户端量产数从1000到破万,只用了不到50天。
 
        华海清科Universal-300 Plus不断取得新成果,与公司全体员工的不懈努力,尤其是奋战在客户端一线的员工勤恳踏实的工作密不可分,他们精益求精、夜以继日,使得设备安全可靠、保质保量地生产。今后,华海清科还将再接再厉、再创佳绩,为中国极大规模集成电路制造做出积极的贡献。