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        在国庆期间坚守岗位是对祖国最长情的告白。2017年10月8日,华海清科首台国产CMP(化学机械抛光)工艺设备Universal-300 Plus在客户端量产突破10000片,以一丝不苟的工匠精神向祖国献礼。
 
       自2017年2月24日首台国产CMP工艺设备正式进入中芯国际北京厂开始,华海清科与中芯国际团队密切配合,迅速完成设备安装、调试、硬件马拉松测试、设备最优工艺参数测试、工艺马拉松测试、多种工艺制程(IMD/ILD/STI)验证等一系列工作,并进入正式产品量产。在短短78天内,华海清科实现了首台国产CMP工艺设备产品过百片的阶段性目标;6月20日,华海清科凭借首台国产CMP工艺设备的突出表现,被中芯国际授予“突出成就奖”;8月21日,首台国产CMP工艺设备在客户端量产突破1000片。客户端量产数从1000到破万,只用了不到50天。
 
        华海清科Universal-300 Plus不断取得新成果,与公司全体员工的不懈努力,尤其是奋战在客户端一线的员工勤恳踏实的工作密不可分,他们精益求精、夜以继日,使得设备安全可靠、保质保量地生产。今后,华海清科还将再接再厉、再创佳绩,为中国极大规模集成电路制造做出积极的贡献。

 

        近日华海清科喜讯接连不断!

        在12英寸Universal-300 Plus型化学机械抛光(CMP)设备在客户端屡创佳绩后,2017年8月29日,华海清科国产首台8英寸Universal -200型化学机械抛光机销售出厂!这标志着华海清科在成功打破12英寸化学机械抛光(CMP)设备的国际垄断后,又在8英寸CMP设备上取得突破,填补了国产该类机型空白。至此,从2英寸到12英寸CMP设备,华海清科已经做到了全规格型号覆盖,彻底地打破了国外CMP设备长期垄断的局势,具有重大的里程碑意义。

        自从8英寸CMP设备项目立项以来,团队成员马不停蹄、加班加点地工作,迅速完成了设计、安装、调试、硬件马拉松测试、设备最优工艺参数测试、工艺马拉松测试等。该8英寸Universal-200型CMP设备传承了12英寸Universal-300 的关键技术,具有抛光核心技术指标-去除率非均匀性优于进口设备30%以上的突出优点,同时它还兼容6英寸晶圆的化学机械抛光。该设备可以广泛应用于6英寸和8英寸的集成电路制造,MEMS制造,硅片抛光等多个领域。该型号设备一经推出就迅速取得了客户的销售订单,经客户严格测试,所有技术指标完全符合需求。

        自华海清科成立开始,我们的全体员工就带着高度的使命感和责任感,孜孜不倦、齐心协力、夜以继日地辛勤工作,攻克了一个又一个难关,Universal-300、Universal-300 Plus、 Universal-150、Universal-200相继出厂进入客户端,并以最快的速度、最佳的产品性能获得了客户的高度认可。华海清科人始终坚信,国产高端装备一定能以优秀的品质、卓越的服务赢得国内外用户的信赖。我们将再接再厉、再创佳绩,为中国极大规模集成电路制造做出我们的贡献!

 

        8月21日,从中芯国际(北京)传来振奋人心的喜讯,华海清科首台CMP工艺设备Universal-300 Plus在中芯国际客户端完成量产超过1000片的目标!!


        自2017年2月24日华海清科的首台CMP工艺设备正式进入中芯国际北京厂开始,在中芯国际和华海清科团队密切配合下,迅速完成了设备安装、调试、硬件马拉松测试、设备最优工艺参数测试、工艺马拉松测试、多种工艺制程(IMD/ILD/STI)验证等一系列工作,并开始进入正式产品量产,于日前完成量产突破1000片的骄人业绩。


        Universal-300 Plus能不断取得突破,与公司全体员工的辛勤努力以及中芯客户对我们一如既往地支持是密不可分的!我们将再接再厉、再创佳绩,为中国极大规模集成电路制造做出我们的贡献!