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晶圆再生

华海清科拥有标准的晶圆再生生产车间,具备专业的CMP/Wet清洗技术团队和全面的测量分析仪器,具备月加工10万片12英寸再生晶圆的生产能力,量测设备具备约26万片/月产能,可根据不同制程需求,提供全方位技术支持、销售和代工服务,已为国内30余家合作伙伴出货超过60万片高质量再生晶圆。


优势
华海清科深耕晶圆再生加工领域多年,拥有专业资深的科研技术及量产团队,是国内首家实现12英寸晶圆再生成功量产的企业。
以自主研发的CMP设备为基础,华海清科借助成熟CMP制程工艺,已完成大量再生晶圆核心技术积累,建立整套先进FAB厂的Cu/NonCu完全物理隔离的晶圆再生工艺流程,实现无污染、低缺陷、高平整度、高洁净度的晶圆再生加工。
华海清科拥有自主研发量产的生产设备和世界领先的表面缺陷检测设备,采用完善的线上MES系统生产流程管控,为客户提供性价比更高、供应链更安全快捷的代工服务,其26nm颗粒控制技术处于行业领先水平。