6月26日，由SEMI和IEEE-EDS联合举办的中国国际半导体技术大会（CSTIC）在上海国际会议中心隆重开启，大会现场颁发了由SEMI设立的最佳年轻工程师论文奖和最佳学生论文奖。

　　华海清科股份有限公司（简称“华海清科”，股票代码：688120）战略发展部经理张力飞荣获SEMI本届大会最佳年轻工程师论文奖一等奖。

　　本次获奖论文以“Problem Analysis and Optimization Strategy on Chemical Mechanical Polishing Relevant for Cobalt Interconnects”为题，提出了用于先进制程互连结构的化学机械抛光液的正向设计和优化方法，将进一步推动相关领域技术研发与创新。

　　CSTIC是中国规模最大、最全面的年度半导体技术盛会，也是亚洲最大的世界级半导体技术研讨会。为期两天的CSTIC，近百位世界领先的行业及学术专家汇聚一堂，内容涵盖IC设计、半导体器件与集成、光刻、蚀刻、CMP、封装测试等各项前沿技术。

　　以下为获奖论文信息：

　　华海清科战略发展部经理张力飞为论文第一作者，华海清科副总经理、董事会秘书王同庆为论文第二作者，华海清科董事长、首席科学家路新春为论文通讯作者。