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Universal-300 T

Universal-300 T 是在华海清科先进CMP设备基础上,根据行业前沿技术需求开发的领先型12英寸CMP设备。该设备基于华海清科自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元,集成多种终点检测技术,并搭载更先进的组合清洗技术,展现出更卓越的清洁效果。该设备可实现晶圆纳米级全局平坦化,满足先进制程技术需求,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。

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Universal-300 X

Universal-300 X 是根据当前高端市场需求开发的先进12英寸CMP设备。该设备运用了华海清科具有自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元及清洗单元,集成多种先进终点检测技术,高效稳定、工艺组合灵活,可实现晶圆纳米级全局平坦化,满足先进制程技术需求,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。


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Universal-300 Dual

Universal-300 Dual 是基于华海清科自主知识产权创新技术研发的成熟12英寸CMP设备。该设备配备多组性能优越的抛光单元及清洗单元,集成多种先进终点检测技术,优异的工艺可调性和稳定性,可实现晶圆表面的超高平整度,满足成熟制程技术需求,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。


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Universal-300 E

Universal-300 E 是根据中高端市场需求开发的成熟12英寸CMP设备。该设备拥有自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元及清洗单元,集成多种先进终点检测技术,卓越的工艺稳定性、高生产效率,可实现晶圆表面的超高平整度,满足成熟制程技术需求,已在集成电路、先进封装、大硅片等制造工艺中批量应用。


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Universal-300 B

Universal-300 B 是基于华海清科自主知识产权的创新技术开发的12英寸CMP设备。该设备配备性能优越的抛光单元,兼容4/6/8/12英寸晶圆,适用于多种材质,可实现晶圆表面的超高平整度,占地面积小、性价比高,满足成熟制程技术需求,已在硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。


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Universal-200 W

Universal-200 W 是针对快速增长的新兴市场需求开发的成熟CMP设备。该设备拥有自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元,兼容4/6/8英寸晶圆,适用于多种材质,产品干进湿出。该设备占地面积小、产出效率高,可实现晶圆表面的超高平整度,满足成熟制程技术需求,已在第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。

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Universal-200

Universal-200是根据当前市场需求开发的成熟8英寸CMP设备。该设备拥有自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元,兼容4/6/8/英寸晶圆,适用于多种材质,可实现晶圆表面的超高平整度,满足成熟制程技术需求,广泛应用于硅片、第三代半导体、MEMS等制造工艺。


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Universal-200 D

Universal-200 D 是基于华海清科自主知识产权创新技术开发的成熟8英寸CMP设备。该设备配备性能优越的抛光单元及清洗单元,集成多种先进终点检测技术,适用于多种材质,可实现晶圆表面的超高平整度,满足成熟制程技术需求,已在大硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。


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Universal-200 Smart

Universal-200 Smart 是根据当前市场需求开发的成熟8英寸CMP设备。该设备拥有自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元及清洗单元,集成多种先进终点检测技术,产量高、性能稳定、工艺组合灵活,可实现晶圆表面的超高平整度,满足成熟制程技术需求,已在集成电路、先进封装、硅片、第三代半导体、MEMS、Micro LED等制造工艺中批量应用。



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Universal-150 Smart

Universal-150 Smart 是根据当前市场需求开发的成熟6英寸CMP设备。该设备拥有自主知识产权的创新技术,配备性能优越的抛光单元及清洗单元,兼容6/8英寸晶圆,适用于多种材质,可实现晶圆表面的超高平整度,工艺搭配灵活、产出率高,满足成熟制程技术需求,已在第三代半导体、MEMS等制造工艺中批量应用。


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Versatile-GP300

Versatile-GP300 是根据当前3D IC制造、先进封装等高端市场需求开发的先进12英寸超精密晶圆减薄设备。该设备通过新型整机创新布局,集成先进的超精密磨削、CMP及后清洗工艺,配置卓越的厚度偏差与表面缺陷控制技术,可提供多种系统功能扩展选项,具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点。Versatile-GP300可灵活拓展、研发多种配置,极大满足了3D IC制造、先进封装等领域中晶圆超精密减薄技术需求。


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Versatile-GM300

Versatile-GM300是面向封装领域创新研发的超精密晶圆减薄设备。该设备采用新型布局,可实现薄型晶圆背面超精密磨削与应力去除;兼容8/12英寸晶圆,搭载晶圆贴膜机联机使用,可实现从精密减薄、清洗干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动化作业;高可靠性的晶圆搬运系统有效降低薄型晶圆破损风险。该设备依托卓越的厚度在线量测与表面缺陷控制技术,具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点,满足封装领域的薄型晶圆加工需求。


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晶圆再生

公司拥有标准生产车间、专业技术团队、全面量测分析仪器,生产效率高、使用范围广,可根据各种制程需求,提供全方位技术支持、销售及代工服务。

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关键耗材与维保服务

关键耗材与维保服务主要为客户提供 CMP 设备关键易磨损零部件的维保、更新服务,以保证设备稳定运行。

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单片清洗机 HSC-F3400

HSC-F3400机型是华海清科面向大硅片终端清洗市场特殊需求研发的一款高性能设备,采用卓越的颗粒与金属污染控制系统,具备新颖的清洗及干燥模块,搭载高性能卡盘夹持技术。

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化合物刷洗机 HSC-S1300

HSC-S1300是华海清科面向市场需求研发的主要应用于4/6/8英寸化合物半导体的刷片清洗设备,具备正面和背面刷洗功能,集成性能优越的清洗及干燥技术,兼容酸性溶液清洗/碱性溶液清洗、透光/不透光晶片清洗。

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刷片机 HSC-S3810

HSC-S3810是根据行业前沿技术研发的刷片清洗设备,该设备基于华海清科自主知识产权的创新技术,搭载优越的参数闭环控制系统,具备正、背面及边缘清洗功能,可实现无损伤清洗,机台占地面积小、产量高。

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片盒清洗机 HCC-3080S

HCC-3080S是应用于4/6/8/12英寸晶圆片盒的清洗设备,采用华海清科创新技术,搭载性能优越的水回收装置,其独特的双门设计可实现清洗前后片盒的独立装载与移出,高环保、低消耗。

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槽式清洗机 HBC-E3500

HBC-E3500是华海清科基于市场发展前沿、面向客户需求自主研发的一款槽式清洗设备,具备较强的兼容性,支持多种工艺配方混合运行,采用客制化、模块化设计,配置灵活,满足不同客户的工艺要求。

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HCDS

HCDS系列化学品供应系统,采用客制化、模块化设计,配置灵活,具有实时、高精度在线配比系统,可实现参数闭环控制,满足半导体制造过程中湿法工艺设备的清洗液等化学品供应需求,操作维护便捷,具有高可靠性、安全性和低维护保养成本,配置灵活等优点。


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HSDS

HSDS系列研磨液供应系统采用客制化、模块化设计,配置灵活,具有实时、高精度在线配比系统,可实现浓度、流量、压力等参数闭环控制,满足半导体制造过程中湿法工艺设备的研磨液等供应需求,操作维护便捷,具有高可靠性、安全性和低维护保养成本,配置灵活等优点。


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FTM-M300DA

金属膜厚量测设备,是基于电涡流原理进行的非接触式测量,工作高效,可进行无损伤量测,精度高、测量结果可靠准确,同时量测数据可以进行自动化处理,主要应用于 Cu、Al、W、Co 等金属制程。

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关于我们

华海清科股份有限公司(股票代码:688120)是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,公司主要产品包括CMP设备、减薄设备、湿法设备、晶圆再生、关键耗材与维保服务,打造“装备+服务”的平台化战略布局。


总部地址:天津市津南区咸水沽镇聚兴道11号

联系方式:022-59781212

华海清科股份有限公司
375.48
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总市值:399.36亿
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新闻中心
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投资者关系
华海清科股份有限公司在2022年6月8日在上海证券交易所科创板挂牌上市,股票简称为华海清科,股票代码为688120。
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