HCC-3080S是应用于4/6/8/12英寸晶圆片盒的清洗设备，采用华海清科创新技术，搭载性能优越的水回收装置，其独特的双门设计可实现清洗前后片盒的独立装载与移出，高环保、低消耗。
兼容4/6/8/12英寸片盒清洗
配置水回收装置，减少DIW消耗量
双门设计，清洗前后片盒可以独立装载与移出，降低污染风险
