2013
2014
2015
2017
2019
2021
2022
2013.04.10天津华海清科机电科技有限公司成立
2014.03首台国产12英寸CMP商业机型Universal-300研发成功
2015.11华海清科承担“国家02科技重大专项”
2017Universal-300 Plus进入客户端，此后，Universal-300 Dual、Universal-300 X、Universal-300 T等机型先后进入市场，形成批量销售。公司CMP设备市占率、进口替代率均位居国产IC装备前列。
2019.09华海清科CMP设备在客户端大生产线生产晶圆突破100万片
2021.06华海清科第100台12英寸CMP设备出货
2021.07研磨抛光装备产业基地启动使用
2021.09华海清科首台十二英寸超精密晶圆减薄机进入客户端验证
2021.11华海清科荣膺国家级“制造业单项冠军示范企业”
2021.122021年当年完成机台制造超百台
2022.01华海清科CMP设备进入封装领域国际头部客户
2022.02华海清科晶圆再生产品规模量产，累计出货量突破10万片
2022.06.08华海清科成功登陆上交所科创板，股票代码为688120
