近日，天津市科学技术奖励大会暨全市科技工作会议传来喜讯，华海清科、清华大学“极大规模集成电路化学机械抛光装备及应用”项目喜获2019年度天津市科学技术奖（技术发明）一等奖。

       紧紧围绕国家重大战略需求，在国家科技重大专项、国家自然科学基金、天津市科技支撑计划等支持下，华海清科、清华大学历经20年艰苦攻关，以“工匠精神”为引领，不断创新与探索，形成了大尺寸表面纳米级全局平坦化的理论和方法，攻克了CMP关键核心技术，解决了整机集成与控制难题，研制出国内首台12英寸CMP商业装备。截至目前，多台CMP设备进入国内先进集成电路大生产线，实现了国产抛光装备的规模化制造与产业化应用，为我国集成电路产业的自主可控发展作出重要贡献。

       荣誉往往是新的起点，华海清科将不忘初心、牢记使命，深入贯彻落实习近平总书记关于科技创新的重要论述，增强科技创新“硬核”实力，在科技攻关中争取更大成绩，努力为全市实现“双战双赢”、全面建成高质量小康社会贡献科技力量。