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晶圆再生
华海清科拥有标准的晶圆再生生产车间,专业的CMP/Wet清洗技术团队,可根据客户各种制程要求,提供全方位的技术支持、销售和代工服务。
优势
低研磨量:采用CMP装备研磨,相比传统再生方式,更低的研磨量可通过晶圆再生为FAB厂大大降低成本
18万片月出货:建立整套先进FAB厂的Cu/Non-Cu完全物理隔离的晶圆再生工艺流程,出货量18万片/月
26nm颗粒控制:完善的线上MES系统生产流程管控,其26nm颗粒控制技术处于行业领先水平