Central Delivery System HSDS-AD2501是在华海清科Local装备基础上，根据行业前沿技术需求开发的大型集中供应系统。该装备基于华海清科自主知识产权的创新技术，配备优秀的硬件系统，集成多种样品在线检测技术，并搭载更优秀的控制技术，展现出强力且稳定的供应能力。该装备可实现多种液体的集中供应，满足厂务系统多路液体需求。
CMP联动预警
集成多种在线检测技术
满足大流量/多点位供应需求
可适用于多种液体供应
