iPUMA-LE是华海清科在已有成熟垂直带状束流的基础上，根据行业先进技术的要求开发的12英寸水平带状大束流离子注入机。该装备运用了先进的束流爬坡技术，集成了磁场和电场模块，并搭载精准的量测技术，展现了良好的离子筛选能力和精准度，满足多种制程技术需求，已在集成电路制造中应用。
水平束流爬坡技术
磁场和电场双重筛选技术
束流调试能力处于国内领先水平
适用于各种半导体工艺技术
