iPUMA-HT是华海清科在已有成熟大束流的基础上，根据先进器件技术的要求开发的12英寸高温离子注入机。该装备配备了高温工作模块，温度检测单元和冷却模块，满足先进制程技术需求，已在先进逻辑等集成电路制造中应用。
国内自主研发的热工艺离子注入平台
精准的工艺温度控制
良好的工艺温度均匀性
满足先进制程的技术需求
