iPUMA-HP是华海清科在已有成熟大束流的基础上，改造成12英寸氢离子大束流离子注入机。该装备配备了良好的粒子筛选和冷却模块，满足薄膜转移技术工艺中颗粒数和工艺温度的控制，还能够通过硬件升级提升产能的需求，已在大硅片制造中应用。
国内自主研发的热工艺离子注入平台
工艺温度控制模块
良好的工艺温度均匀性
满足先进制程的技术需求
