iPUMA-LT是华海清科在已有成熟大束流的基础上，根据成熟器件技术的要求开发的12英寸低温离子注入机。该装备配备了低温工作模块，温度检测单元和回温模块，满足成熟制程技术需求。
国内自主研发的冷工艺离子注入平台
低温工艺模块
回温模块
满足成熟制程的技术需求
