iPUMA-H是华海清科在已有粒子加速器基础上，开发出来的12英寸氢高能离子注入机。该装备运用了独特的加速器技术，使得氢离子获取很高的能量。该装备装配薄片传输装置，满足了功率器件的需求。
国内自主研发的氢高能离子注入平台
质子加速器技术
薄片传输能力
适用于功率器件
