关键耗材与维保服务主要为客户提供CMP装备关键易磨损零部件的维保、更新服务。华海清科拥有一批具备多年大线经验的工艺团队，致力于为客户提供成套解决方案;公司自主可控的高稳定性供应链体系,为装备稳定运行保驾护航。
关键耗材主要包括：多分区抛光头、保持环、气膜等
维保服务主要包括：多分区抛光头维保
